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震動是影響測量機精度和穩(wěn)定性的主要因素之一，要使得三坐標測量機能夠保證足夠的精度，就需要為測量機創(chuàng)造一個合適的環(huán)境。
三坐標測量機若安裝所在處受振動影響較大時，用戶可以選擇適合于它的振動隔離系統(tǒng)。出發(fā)點是由制造商提供的機器所能承受的高振動水平，第二步是把這個信息和安裝坐標測量機所在地的壞的振動特性關(guān)連起來，在大多數(shù)情況下振動是穩(wěn)定狀態(tài)或引入的振動或沖擊。如果要求測量機達到規(guī)范的指標，必須知道測量機安裝地振動性質(zhì)和幅度的細節(jié)。
振動的觀察可以了解振動的幅度和頻率，把這些數(shù)據(jù)與制造商所允許地面振動的極限值相比較，于是可以正確的選擇隔離系統(tǒng)以減少地面振動傳遞到坐標測量機操作環(huán)境中去。
對坐標測量機常應用的隔離設(shè)備包括彈性墊(橡皮)，螺旋彈簧和氣動隔離系統(tǒng)，在測量機應用隔離系統(tǒng)前應當研究制造商提供的減振器特性，應當注意到在應用隔離器的同時亦可以用地基或慣性質(zhì)量來增加系統(tǒng)的穩(wěn)定性或機器基礎(chǔ)的附加剛性和支持。
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